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? ? ? ?真空泵是根據(jù)一定的工作原理，用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境，是直接影響真空成套設(shè)備性能質(zhì)量的重要設(shè)備。在醫(yī)藥、化工、食品、電子等下游行業(yè)中，真空泵得到了廣泛的應(yīng)用，其需求量很大。一般真空范圍可分為三個(gè)級(jí)別：1、粗低真空，氣壓760~10~3 Torr，主要用于食品、化工、輕工、制藥等行業(yè)。2、高真空，主要用于集成電路、半導(dǎo)體制造及各種鍍膜工藝、各種表面處理工藝、離子注入等。3超高真空，主要用于材料科學(xué)分析、物理現(xiàn)象研究、表面分析高純材料制備等。